Was ist PVD ?
1. Beschreibung
Das Schlagwort PVD (Abkürzung für physical vapour deposition)
bezeichnet alle Verfahren der physikalischen Abscheidung dünner
Schichten über die Dampfphase.
Dabei wird das Ausgangsmaterial für die Schichten über die
physikalischen Vorgänge des Verdampfens (mit Lichtbogen ("Arc")
oder Elektronenstrahl) oder der Kathodenzerstäubung im Hochvakuum
in die Dampfphase übergeführt und anschließend auf einem
geeigneten Substrat wieder niedergeschlagen. Die dabei erzeugten
Schichtdicken auf Werkzeugen und Bauteilen bewegen sich zwischen
1 µm und maximal 15 µm.
Verschleißschutzschichten auf Werkzeugen und Bauteilen werden mit
allen drei oben erwähnten PVD-Verfahren auf
computergesteuerten
Beschichtungsanlagen abgeschieden.
Es handelt sich dabei um nitridische
Hartstoffschichten, d.h.
Verbindungen aus den Übergangsmetallen Titan und Chrom mit
Stickstoff. Erweiterte Eigenschaften liefern Schichten, die
zusätzlich
Aluminium und Kohlenstoff enthalten. Die bei den Lohnschichtern
auf dem Markt erhältlichen Schichten basieren auf
den Grundtypen
der nitridischen Hartstoffschichten
Titannitrid TiN, Titancarbonitrid
TiCN, Titanaluminiumnitrid TiAlN
und Chromnitrid CrN, die mit einigen
ihrer Eigenschaften in der folgenden Tabelle zusammengestellt sind.
Schicht |
TiN |
TiCN |
TiAlN |
CrN |
Farbe |
gold |
violett - |
anthrazit |
metallisch |
Schichtdicke |
1 - 5 |
1 - 5 |
1 - 5 |
1 - 10 |
Mikrohärte |
2.300 |
3.000 |
3.000 |
1.900 |
Oxidationstemperatur |
> 450 |
> 350 |
> 700 |
> 600 |
Sie zeichnen sich augrund der hohen kovalenten Bindungsanteile der
Schichtatome durch hohe Schichthärte, gute Oxidationsbeständigkeit
und chemisch träges Verhalten aus.
Der von den Verdampfern ausgehende,
gerichtete Teilchenstrahl
des metallischen Schichtbestandteils durchfliegt die Hochvakuum-
kammer, wobei der Ionenanteil
durch das am Beschichtungsgut
liegende negative Potential auf die Werkzeuge beschleunigt wird.
Die aufwachsende Schicht ist dadurch einem Ionenbeschuss
ausgesetzt, was zu einer Verdichtung und insbesondere zu einer
verbesserten Haftung der Dünnschicht auf der Werkstückoberfläche
führt. Durch den hohen Ionenanteil beim
Lichtbogenverdampfen
ist dieser Effekt gegenüber den anderen PVD-Verfahren
besonders ausgeprägt.
Zur Erzeugung dieser Verbindungsschichten
wird ein Reaktivgas
durch die Hochvakuumkammer geleitet. TiN-Schichten
erhält man
so durch die Reaktion des Titandampfes mit Stickstoff im Plasma,
für TiCN wird zusätzlich ein kohlenstoffhaltiges Gas
eingesetzt.
Wegen des gerichteten Stroms der Schichtteilchen müssen die
Werkzeuge bzw. Bauteile während des Prozesses bewegt werden,
um eine gleichmäßige Beschichtung zu erhalten.
Schichten zur Reibungsverminderung, wie Weichschichten auf
Basis von Molybdändisulfid und
Kohlenstoffschichten, werden
vorzugsweise mit dem PVD-Verfahren
Kathodenzerstäubung
abgeschieden.
2. Geeignete Werkstoffe
Geeignet zur Abscheidung der nitridischen Hartstoffschichten sind
gehärtete Werkzeugstähle mit Anlasstemperaturen über 500°C
(Schnellarbeitsstähle, Warmarbeitsstähle, ausgewählte
Kaltarbeitsstähle, rostbeständige Stähle, Kunststoffformenstähle,
da die Beschichtungstemperaturen im allgemeinen bei 450°C liegen.
Des weiteren sind Hartmetalle beschichtungsfähig.
Es ist zu beachten, dass es sich bei der PVD-Beschichtung
um eine
weitere Wärmebehandlung an einem fertig bearbeiteten Werkzeug
handelt und es deshalb wichtig ist, dass das Werkzeug vorher
beschichtungsgerecht wärmebehandelt wurde, um Veränderungen
im Gefüge, der Härte und der Maße zu vermeiden.
In Spezialfällen und/oder für
Spezialschichten sind auch
PVD-Beschichtungsprozesse unterhalb von 200°C
möglich.
3. Standardprüfverfahren
PVD-beschichtete Werkzeuge und Bauteile werden visuell auch
Schichtfehler überprüft. Auf Wunsch des Kunden kann die
Schichtdicke mit zerstörungsfreien Methoden auf der Funktionsfläche
gemessen werden.
4. Vorzüge dieser Wärmebehandlung
Die PVD-Beschichtung
erfolgt als letzter Veredelungsschritt auf
dem fertig bearbeiteten Werkzeug oder Bauteil ohne Veränderung
der Maßhaltigkeit aufgrund der dünnen Schichtdicken.
Durch die besonderen Eigenschaften der Schichten erhält man eine
deutliche Steigerung des Verschleißwiderstandes bzw. eine
Reibungsminderung. Dadurch ergibt sich ein breites
Anwendungsspektrum auf Werkzeugen zur Zerspanung, Umformung,
Druckgießen, Werkzeugen zur Kunststoffverarbeitung und vielen Bauteilen.